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技术规格及参数
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定制真空元器件1套包含：
（1）钛升华泵和控制器2套：*根钛丝，最大电流***,最大抽速****升；（2）吸气剂泵和控制器1套：最大抽速***升，****法兰接口，钛钼材料吸气剂，控制器*键启动；（3）主腔体-钛*件：多面体钛腔，**面接口，标准真空法兰接口，无氧铜圈密封，漏率优于1***-******.L/S；（4）主腔钛泵管件1件：主接口*****，￠*********，多接口组件，氩弧焊街，漏率优于1***-******.L/S；（5）*通管件1件：不锈钢多通管件，****接口，氩弧焊接，漏率优于1***-******.L/S；（6）******管1件：无磁管件，标准接口设计，￠********,镜面抛光，漏率优于1***-******.L/S；（7）******线圈1件：3*1.***和3****铜线绕制，紧密排列，保证磁场梯度，导热胶固化处理；（8）*面体1件：****法兰接口，球形腔结构，镜面抛光，整体加工成型，漏率优于1***-******.L/S；（9）*面体1件：****、****接口设计，球形腔结构，镜面抛光，整体加工成型，漏率优于1***-******.L/S；（**）钛泵管件1件：主接口*****，￠*********，多接口组件，氩弧焊街，漏率优于1***-******.L/S；（**）对齐器1件：波纹管组件，￠********，微调间距****，可调角度5度；（**）两通管件1件：*****-****，漏率优于1***-******.L/S；（**）盲法兰5件：****标准法兰；（**）转接件2件：****-****；（**）反射镜组件1件：****接口，金属铝镜镜面抛光，**度角入射，光学镜片安装；（**）差分管1件：无氧铜加工，微细孔结构设计，总长*****,表面处理；（**）离子泵屏蔽2套：***纯铁板加工，笼式结构，表面处理；（**）烘烤电源1套：温度控制，***调整，台式机箱；（**）光学面板1件：外形尺寸*************,光学孔阵列排布，表面处理黑：（**）支撑组件部分1套：支撑调整机构，调整范围****,光学固定座，表面处理黑。
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